AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人
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- 商品名称: AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人
- 产品: 半导体机器人
- 应用: 真空晶圆系列
- 负载: 1-2KG
- 臂长: 200-499mm
AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人AHYQ3510F_AHY系列半导体机器人- ● 高可靠真空隔离，从容应对高真空环境
- ● 电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性
- ● 高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度
- ● 采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制
- ● 同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）
臂长
355.5mm
额定/最大负载
≤1kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆
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关键词：
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